即将进行的洁净室性能评估，
需要有专业的管理来准备。

随着工业技术高度集成化，直接或间接参与生产的人力资源、环境、设备、原材料、公用设施等
有必要保持最佳条件以满足适当的标准。有必要管理和控制空气中的颗粒物。
为提高生产良率、加强技术竞争力，对洁净室进行自主质量管理，
外部质量保证也得到保证。获得韩国空气清洁协会的集团质量认证。
随着洁净室性能评估实施在即，您的洁净室环境是否得到了妥善管理？

服务流程

绩效评估流程

步骤 1

收据

• 申请第三方洁净室公司
• 制造产品性能评估请求
• 要求定期进行洁净室评估

第 2 步

现场验证

• 洁净室详细位置及简图
• 洁净室设计条件
• 查看产品和评论位置

步骤3

绩效评估

• 颗粒物/温湿度/压差
• 根据客户要求添加商品

步骤4

签发成绩单

• 验收后编制并出具检测报告
• 环境改善点建议

服务项目

洁净室解决方案和
技术能力

01

优化洁净室环境

• 室内环境测量及巡检
• 问题相关响应
• 异常情况现场核查
• 通过 3D 气流分析识别根本原因

C/R遍历验证

在线监控

 

AMC 控制

环境验证

02

确保核心设备性能

• 设备内部FFU及环境验证（T.A.B）
• 设备运行过程中的实时环境监测
• 离子发生器/精确评估静电水平

微环境

晶圆曝光环境验证

 

防止ESD颗粒吸附

P/计数器和 S/Com

03

柔性制造系统

• 建立并维护稳定的FMS系统
• 定期评估测量设备的可靠性
• 发生 FMS 问题时立即采取紧急响应

系统管理

实时分析

综合环境评估

P/计数器和 S/Com

04

离子发生器和静电管理

• 从 ESDA 角度控制静电污染
• 精确评估和改进离子发生器的性能
• 静电控制与测试

离子发生器性能评估

防止ESD颗粒吸附

 

房间/设备环境评估

05

微污染评估与分析

• 建立并维护稳定的FMS系统
• 定期评估测量设备的可靠性
• 出现 FMS 问题时立即采取紧急响应

系统管理

实时分析

综合环境评估

P/计数器和 S/Com

详细的技术服务

01

洁净室环境

在线监控

• 实时分析和系统管理

T.A.B

• 综合环境评估

C/R遍历验证

• 环境验证

02

设备内部环境

微环境

• 晶圆曝光环境验证
  - P/计数器和 S/Com

离子发生器性能评估

• 防止ESD颗粒吸附
  - 房间/设备

03

实用质量

DIW质量

• 超纯水水质验证
  - 18米 DIW 监控

化学金属趋势

• 金属浓度评估
  - 去离子水/过氧化氢/氨水

04

体外循环CB

工艺审核

• 变更点控制和工人、建筑等
  问题

环境评估

• 变更区域环境污染评估

技术能力

01

3D气流分析和CFD模拟

通过准确识别洁净室内气流停滞或涡流发生的点，防止污染物扩散并保持最佳的空调系统效率。

3D气流分析设备

拥有最先进的3D超声波风速计
精确测量现场的气流。

CFD 模拟

通过计算流体动力学（CFD）模拟
改变设备布局或新建工程时可能发生
提前预测气流变化并做好准备。

02

颗粒物和空气污染成分分析

除了测量污染程度之外，我们还精确分析污染物的成分，以追踪污染源并提出根本解决方案。

生物良好生产规范

洁净度等级	ISO 等级编号	浮游细菌	寄生细菌	表面真菌（设备）
一个	5	< 1	< 1	< 1
B	6	≤10	≤5	≤5
C	7	≤100	≤ 50	≤ 25
D	8	≤200	≤100	≤ 50

生物洁净室
微生物学评估

重点采样分析项目

富裕群体

使用收集器

寄生细菌

忽视评估

表面真菌

直接捕获

孵化器

微生物培养

微生物
评估

视觉确认